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本发明涉及一种针对小样本缺陷晶圆图像的目标检测方法：S1、拍摄缺陷晶圆图片，用真实标注框对缺陷晶圆图片中的缺陷目标进行标注，生成图像数据。S2、搭建检测模型，检测模型包括基础分支和强化分支。S3、将图像数据输入基础分支，基础分支对图像数据的...该专利属于上海微电机研究所（中国电子科技集团公司第二十一研究所）所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电机研究所（中国电子科技集团公司第二十一研究所）授权不得商用。