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本发明提供了一种升降销、外延生长装置及晶圆外延生长方法，涉及半导体制造技术领域。该升降销包括：依次连接的升降销头部、第一销轴以及第二销轴，所述升降销头部、所述第一销轴与所述第二销轴的轴线位于同一直线上；所述升降销用于外延生长装置中，所述第一...
该专利属于西安奕斯伟材料科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安奕斯伟材料科技股份有限公司授权不得商用。

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