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本发明涉及半导体加工处理设备相关技术领域，更具体地说，本发明提供了一种半导体生产用清洗液处理装置，包括混合机构、驱动机构和定量输送机构；所述定量输送机构用于将处理剂管中的处理剂定量输送到混合箱的混合室中，所述混合室还与清洗液管连通；本发明通...该专利属于苏师大半导体材料与设备研究院（邳州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏师大半导体材料与设备研究院（邳州）有限公司授权不得商用。