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本发明提供了一种减振机构和晶圆检测设备，属于半导体检测用精密驱控的减振领域，减振机构包括振动组件和阻尼层，所述阻尼层设置在所述振动组件上；晶圆检测设备的驱动装置中采用前述的减振机构。本申请通过在振动组件处设置阻尼层，将振动的能量耗散掉，达到...
该专利属于苏州矽行半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州矽行半导体技术有限公司授权不得商用。

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