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本发明涉及一种离子束角度分析仪及其使用方法，属于半导体工艺设备技术领域，离子束角度分析仪包括有分析仪外壳，在分析仪外壳内设置有一排分析单元，分析仪外壳上设有一排分析孔，分析单元与分析孔一一对应，分析单元至少包括有角度检测单元，角度检测单元至...
该专利属于芯嵛半导体（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过芯嵛半导体（上海）有限公司授权不得商用。

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