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本发明公开了一种消除系统误差的掠入射星形拼接检测方法。本发明使用掠入射干涉检测设备得到被测元件表面子孔径压缩相位数据，分别对子孔径相位数据进行解压缩，得到子孔径解压相位数据。基于互为垂直方向的两个子孔径解压相位数据重叠区域的相位值，计算得到...
该专利属于南京理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过南京理工大学授权不得商用。

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