下载一种薄膜型的高精密传感器的技术资料

文档序号:40632906

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本发明公开了一种薄膜型的高精密传感器,包括底板、管座,环形支座及膜片;环形支座朝向底板的一侧设有支座凹槽,环形支座远离底板的一侧设有支座通孔;环形支座与底板的边缘处进行固定连接;管座上设有感应器件,管座装配于支座凹槽内,且管座上设置感应器件...
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