下载一种基于非对称肖特基势垒的自驱动日盲紫外探测器的技术资料

文档序号:40600828

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本发明公开了一种基于非对称肖特基势垒的自驱动日盲紫外探测器,属于半导体器件制造技术领域。紫外探测器从下而上依次包括:衬底层、AlN缓冲层、Al<subgt;0.65</subgt;Ga<subgt;0.35</sub...
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