下载一种晶圆键合强度的检测设备和方法的技术资料

文档序号:40580965

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本发明公开了一种晶圆键合强度的检测设备以及检测方法,该检测设备包括:用于承载固定相互键合的两个待检测晶圆的承载组件;和切割刀片相连接,用于驱动切割刀片向两个待检测晶圆之间的键合部位插入的驱动组件;用于检测两个待检测晶圆之间的裂缝长度的超声波...
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