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本发明公开了一种片盒清洗机用CDA供应缓冲装置及方法,包括CDA第一主管道,所述CDA第一主管道的右侧固定设置有第一单向阀,所述第一单向阀的右侧固定设置有缓冲储气罐机构,本发明涉及CDA供应缓冲技术领域。该片盒清洗机用CDA供应缓冲装置及方...该专利属于杭州中欣晶圆半导体股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州中欣晶圆半导体股份有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种片盒清洗机用CDA供应缓冲装置及方法,包括CDA第一主管道,所述CDA第一主管道的右侧固定设置有第一单向阀,所述第一单向阀的右侧固定设置有缓冲储气罐机构,本发明涉及CDA供应缓冲技术领域。该片盒清洗机用CDA供应缓冲装置及方...