下载半导体器件的技术资料

文档序号:40576093

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提供了一种半导体器件。该半导体器件包括:衬底;第一层间绝缘层,在衬底上,包括第一互连部;公共源极板,在第一层间绝缘层上;导电层,在公共源极板上沿第一方向延伸;铁电层,在导电层的一个侧壁上;沟道层,在铁电层上;第一导电柱,在沟道层上,穿透公共...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。

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