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本发明提供了一种硅片承载装置和硅片检测方法，涉及半导体技术领域，硅片承载装置，包括：承载盒本体，承载盒本体内设置有多个槽位，每个槽位用于放置硅片；设置于承载盒本体内侧或承载盒本体外侧的检测轨道和检测组件，检测组件位于检测轨道上，检测组件在检...
该专利属于西安奕斯伟材料科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安奕斯伟材料科技股份有限公司授权不得商用。

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