下载一种基于微纳波导横向倍频的成像式微位移传感器的技术资料

文档序号:40543767

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本发明属于微位移测量技术领域,具体涉及一种基于微纳波导横向倍频的成像式微位移传感器,激光器的光路方向上设置有第一光纤,第一光纤的光路方向上设置有分束器,分束器的一个光路方向上设置有第二光纤,分束器的另一个光路方向上设置有第三光纤,第二光纤与...
该专利属于中北大学所有,仅供学习研究参考,未经过中北大学授权不得商用。

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