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本发明属于光电子器件领域，具体涉及一种基于ＳＯＩ光波导的反射型热光可变光衰减器及其制备方法。该器件是在ＳＯＩ衬底的顶层硅一侧制作，为一体脊型结构，沿着输入光的方向顺次是输入单模波导１、第一单模渐变波导２、多模波导３、第二单模渐变波导４、输出...
该专利属于吉林大学所有，仅供学习研究参考，未经过吉林大学授权不得商用。

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