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一种单晶炉热场及单晶炉及改善轻掺硼硅单晶OISF的方法，属于单晶硅制造技术领域，所述单晶炉热场包括炉体、断热材、坩埚、底加热器、侧加热器、热屏，炉体内部设置有断热材，断热材内设置有坩埚，坩埚与断热材之间设置有侧加热器和底加热器，坩埚上方设置...
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