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本发明涉及用于压痕仪的压痕头。一种用于压痕仪的压痕头系统包括：压头尖端，其适配成至少沿着压痕轴线与样本的表面接触；参考元件，其布置成支承压头尖端；零位传感器，其布置成输出指示在沿着压痕轴线考虑的情况下压头尖端是否相对于参考元件从中立相对位置...
该专利属于安东帕TriTec股份公司所有，仅供学习研究参考，未经过安东帕TriTec股份公司授权不得商用。

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