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本发明提供一种低温泵及低温泵的监控方法，其实现适合于安装低温泵的真空装置中的真空处理的运行状态的监视。控制单元在对１级低温板的目标温度的控制中进行第１判定和第２判定，所述第１判定判定２级低温板是否升温至比在真空装置中设定的２级低温板上限温度...
该专利属于住友重机械工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过住友重机械工业株式会社授权不得商用。

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