下载用于确定样品的薄层电阻的装置和方法的技术资料

文档序号:40478722

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本发明的主题是用于确定样品的薄层电阻的装置和方法。该装置包括测量头,该测量头包括至少一个其光施加到样品(S)的表面的光源(2)和至少两个电位传感器(3)。该装置还包括与电位传感器信号通信连接的放大器(4),以及与放大器数据通信连接的处理单元...
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