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本申请提供了一种光罩排程及提前调度算法、设备及介质，包括：配置光罩的平均搬运作业时间；计算距离下次检查光罩的剩余时间和剩余晶圆加工数量；获取每个光罩的生产作业计划；按时遍历光罩的目标晶圆加工批次并生成搬运调度任务；检测相邻晶圆加工批次的时间...
该专利属于上海朋熙半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海朋熙半导体有限公司授权不得商用。

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