下载一种碳化硅原料合成炉的技术资料

文档序号:40391894

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本申请提供了一种碳化硅原料合成炉,包括炉盖、炉盖上的第一吊耳、炉膛、炉膛上的第二吊耳和第三吊耳、第一提升机构。第一提升机构包括立柱、滑动安装板、升降驱动组件、导向杆、旋转驱动组件、第一连接组件、第二连接组件及第三连接组件。升降驱动组件设在立...
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