下载半导体激光器的外延结构及半导体激光器的制备方法的技术资料

文档序号:40383996

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种半导体激光器的外延结构,包括外延衬底及其上的异质结缓冲层、第一接触层、激光器功能叠层及第二接触层;异质结缓冲层至少包括第一刻蚀阻挡层及辅助缓冲层,第一刻蚀阻挡层位于辅助缓冲层上并与辅助缓冲层构成异质结。第一刻蚀阻挡层与辅助缓...
该专利属于上海新微半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海新微半导体有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。