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本发明属于电化学机械抛光领域，具体涉及一种氮化镓晶圆的绿色抛光液。本发明提供了一种以芬顿反应为氧化剂、金刚石为磨粒的氮化镓晶圆的绿色抛光液，采用的抛光液打破了芬顿反应pH不大于3的限制，使抛光液在偏中性环境中仍有较好的氧化性，且抛光液稳定性...
该专利属于苏州大学所有，仅供学习研究参考，未经过苏州大学授权不得商用。

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