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一种晶棒支撑装置及切割设备制造方法及图纸
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下载一种晶棒支撑装置及切割设备的技术资料
文档序号:40381503
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本技术提供了一种晶棒支撑装置及切割设备,属于晶硅加工技术领域,解决了现有的未滚圆晶棒无法稳定支撑的问题。本技术包括支撑组件:第一支撑单元,所述第一支撑单元具有第一支撑面,多个所述第一支撑面可聚拢形成第一支撑槽,所述第一支撑槽用于支撑晶棒的第...
该专利属于浙江晶盛机电股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江晶盛机电股份有限公司授权不得商用。
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