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利用离子注入的原材料表面改质装置制造方法及图纸
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下载利用离子注入的原材料表面改质装置的技术资料
文档序号:40372395
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本技术的利用离子注入的原材料表面改质装置包括:真空腔部,其形成有内部空间且在内部空间具备用于搁置原材料的工位;第一离子注入部,其安装于真空腔部的上部且生成等离子体,并对等离子体施加电压而将第一离子束朝向原材料发散;第二离子注入部,其安装于真...
该专利属于惹德丕恩所有,仅供学习研究参考,未经过惹德丕恩授权不得商用。
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