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本技术提供的具有清洁功能的离子源，包括：真空腔、离子源腔、推斥极、透镜组和清洁组件，通过使清洁组件包括与离子源腔相连通的清洁通道、设置在清洁通道内远离离子源腔一侧的等离子电极，以及与清洁通道旁通的载气通道，在清洁组件工作时，无需拆解离子源，...
该专利属于安益谱（苏州）医疗科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安益谱（苏州）医疗科技有限公司授权不得商用。

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