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本申请提供一种套刻误差量测的方法、装置、系统及存储介质，其中套刻误差量测的方法包括：采用套刻标识模板，在待量测图上匹配获取定位匹配图形；将定位匹配图形进行分割获得标记位置及两相邻区域；计算两相邻区域图像的相关性系数，相关性系数代表两相邻区域...
该专利属于魅杰光电科技（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过魅杰光电科技（上海）有限公司授权不得商用。

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