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本发明涉及一种亚表面定值校准标准样板，属于光学计量检测技术领域。解决尚未针对亚表面缺陷检测计量与校准建立起相关的计量体系的问题。包括透明薄膜、定值校准结构和辅助定位结构，所述透明薄膜下侧设置有定值校准结构和辅助定位结构，定值校准结构位于辅助...
该专利属于哈尔滨工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。

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