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本发明涉及一种体声波谐振器及其制造方法。所述体声波谐振器包括基底、声学镜、底电极、顶电极和设置在底电极与顶电极之间的压电层，其中：压电层的下表面设置有压电层下凹陷和/或压电层下凸起，所述压电层下凹陷的深度或者所述压电层下凸起的高度不大于λ/...
该专利属于诺思（天津）微系统有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过诺思（天津）微系统有限责任公司授权不得商用。

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