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本技术公开了一种研磨头,包含:横向模组、纵向模组、第一研磨模组和第二研磨模组。其中,第一研磨模组分别与纵向模组、第二研磨模组相连,用于研磨工件的内壁;纵向模组可驱动第一研磨模组纵向往复运动;横向模组和纵向模组相连,驱动纵向模组横向往复运动;...该专利属于驭准精密机械(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过驭准精密机械(上海)有限公司授权不得商用。
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本技术公开了一种研磨头,包含:横向模组、纵向模组、第一研磨模组和第二研磨模组。其中,第一研磨模组分别与纵向模组、第二研磨模组相连,用于研磨工件的内壁;纵向模组可驱动第一研磨模组纵向往复运动;横向模组和纵向模组相连,驱动纵向模组横向往复运动;...