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下载光学量测系统的技术资料

文档序号:40333204

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一种适于量测待测物的光学参数的光学量测系统。待测物包括至少二透光层。光学量测系统包括光源模块、取像模块以及控制器。光源模块用以朝待测物发出至少二量测光束,其中量测光束分别以不同角度入射至待测物。取像模块用以接收量测光束被待测物反射后的至少二...
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