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本技术公开了一种晶圆传输装置，包括：背板；翻转底板，可转动地连接于所述背板，设有用于夹持晶圆的晶圆固定座；翻转底板具有第一工作状态和第二工作状态；在第一工作状态时，翻转底板与背板呈夹角，所述晶圆固定座夹持晶圆；在第二工作状态时，翻转底板相对...
该专利属于杭州众硅电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州众硅电子科技有限公司授权不得商用。

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