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本发明公开了一种宽量程电容式MEMS风速风向传感器及其制备方法，涉及风速风向传感器领域，该传感器包括风速风向传感器本体以及量程增大单元，其中，上述风速风向传感器本体包括中心锚区，以及与中心锚区对应连接的风速风向测量单元，所述风速风向测量单元...
该专利属于中国电子科技集团公司第五十八研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第五十八研究所授权不得商用。

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