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本发明涉及超声传感器技术领域，具体涉及一种超声微机电系统传感器、传感器装置及声波成像方法。传感器，包括，激光发生器；光纤本体，连接激光发生器，光纤本体的柱状腔体内设有超声传感器，超声传感器包括，下电极，设于柱状腔体的底部；衬底层，设于下电极...
该专利属于上海深至信息科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海深至信息科技有限公司授权不得商用。

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