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一种宽频薄膜热电变换器及其制备方法技术
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文档序号:40284491
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一种宽频薄膜热电变换器的制备方法,包括以下步骤:1)在第一基底上设置隔热层,在隔热层上制备多个薄膜热电偶,各薄膜热电偶串联形成宽频薄膜热电变换器的感温单元,退火;2)在陶瓷基底上设置金属薄膜加热体,形成宽频薄膜热电变换器的加热单元,退火;3...
该专利属于重庆材料研究院有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过重庆材料研究院有限公司授权不得商用。
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