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本发明属于溅射靶材制备技术领域，公开了一种易氧化靶材真空热矫平方法。所述方法包括如下步骤：(1)将易氧化靶材及矫平钢板放入退火包套内，将退火包套密封后抽真空处理；(2)将步骤(1)的退火包套放入加热炉内，升温至退火温度进行退火处理；(3)将...
该专利属于先导薄膜材料（安徽）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过先导薄膜材料（安徽）有限公司授权不得商用。

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