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本发明涉及陀螺仪技术领域,公开一种单轴MEMS陀螺仪,包括:驱动锚点和驱动连接弹性件,驱动连接弹性件固定在驱动锚点上;两个驱动质量块,沿X轴方向分布;检测连接弹性件和四个检测质量块,每个检测质量块均通过检测连接弹性件与驱动质量块相连;耦合组...该专利属于成都博纳神梭科技发展有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过成都博纳神梭科技发展有限公司授权不得商用。
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本发明涉及陀螺仪技术领域,公开一种单轴MEMS陀螺仪,包括:驱动锚点和驱动连接弹性件,驱动连接弹性件固定在驱动锚点上;两个驱动质量块,沿X轴方向分布;检测连接弹性件和四个检测质量块,每个检测质量块均通过检测连接弹性件与驱动质量块相连;耦合组...