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本发明公开了一种扫描电镜的样品防碰撞检测系统及扫描电镜，其中扫描电镜包括导电的样品舱和导电的位移台，位移台与样品舱绝缘，导电样品放置于位移台上且随位移台移动，样品舱、导电样品和位移台构成触发开关，系统包括：信号发生器，信号发生器与触发开关相...
该专利属于国仪量子技术（合肥）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过国仪量子技术（合肥）股份有限公司授权不得商用。

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