下载一种半导体石英外延圆板加工工艺的技术资料

文档序号:40188408

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本发明涉及一种半导体石英外延圆板加工工艺,包括以下步骤:(1)底板下料;(2)底板平磨;(3)底板激光;(4)底板洗净;(5)底板精烧;(6)环1/4焊接;(7)环平磨;(8)环机械加工;(9)底板和环焊接,进行套料组立焊接;(10)最终品...
该专利属于浙江富乐德石英科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江富乐德石英科技有限公司授权不得商用。

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