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本技术提供一种运输装置，包括耦合至相关联的第一自动物料搬运系统的第一控制系统。第一自动物料搬运系统包括：第一高架转移轨道，包括第一部分；第一运载工具，能够沿着第一高架转移轨道移动并载运容器，容器能够操作以在其中载运半导体晶圆。系统也包括耦合...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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