温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种晶圆夹具、晶圆检测装置、半导体检测系统及其工艺设备，其中所述晶圆夹具，包括：相对设置的第一夹持端和第二夹持端，所述第一夹持端包括第一驱动装置和第一支撑块，所述第二夹持端分别包括第二驱动装置和第二支撑块，所述第一驱动装置和所述...
该专利属于匠岭科技（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过匠岭科技（上海）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。