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一种基于棋盘格的电子总剂量试验方法技术
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文档序号:40179431
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一种基于棋盘格的电子总剂量试验方法,能够较为有效的测算样品的实际吸收剂量,实现对试验样品抗电子总剂量能力的预估。具体包括:(1)分析试验样品的材料成分,选择合适的电子能量进行试验;(2)通过电子能量计算电子的质量阻止本领LET值,并获取理论...
该专利属于北京微电子技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过北京微电子技术研究所授权不得商用。
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