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本技术公开了一种用于溅射台腔体水流停止的断电保护装置，包括水流传感器、继电器和磁铁电机驱动器，水流传感器接入溅射台的靶材背面的回水管通道中，水流传感器的供电端接入电源，水流传感器的信号输出端与继电器的线圈的一端电连接、还通过二极管接入公共端...
该专利属于上海悦匠实业有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海悦匠实业有限公司授权不得商用。

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