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径向长晶温度均匀的长晶设备制造技术
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下载径向长晶温度均匀的长晶设备的技术资料
文档序号:40155299
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本技术实施例提供一种径向长晶温度均匀的长晶设备,涉及长晶设备技术领域。长晶设备包括坩埚和石墨毡组件,坩埚包括坩埚桶和坩埚盖,坩埚盖盖设在坩埚桶的顶部,坩埚盖内侧用于粘接籽晶;石墨毡组件设置在坩埚盖的顶部,石墨毡组件的中心开设有供温度检测仪的...
该专利属于通威微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过通威微电子有限公司授权不得商用。
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