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量测系统、时间及空间相干性加扰器及其方法技术方案
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文档序号:40149747
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一种系统包括辐射源、光学元件、检测器和处理器。所述辐射源产生辐射束。所述光学元件引起所述辐射束的相位的非均匀改变并且输出用于照射目标的相干性加扰辐射。所述光学元件的光学性质是能够被调节的,以便改变所述相干性加扰辐射的非相干量。所述检测器接收...
该专利属于ASML控股股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过ASML控股股份有限公司授权不得商用。
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