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本申请涉及一种机台参数的确定方法、控制方法、控制系统及其装置，通过获取历史数据集，历史数据集包括多个历史机台参数和多个历史晶圆参数，保证了数据获取的普遍性，根据历史数据集确定使晶圆良率恶化的机台参数对应的恶化参数范围，根据恶化参数范围确定晶...
该专利属于合肥晶合集成电路股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥晶合集成电路股份有限公司授权不得商用。

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