下载坩埚加热器及蒸镀设备的技术资料

文档序号:40144280

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本技术公开一种坩埚加热器及蒸镀设备,其中坩埚加热器包括外壳,外壳内设置有第一加热组件和隔热支架,外壳内间隔设有多个环形的固定支架,固定支架设置有安装孔;第一加热组件的两端分别插设在相邻两个固定支架的安装孔内,第一加热组件和所有固定支架形成有...
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