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本发明公开了一种防止磨片清洗机漏夹的夹爪系统及操作方法，包括套设在磨片清洗机驱动架上的移动座，所述移动座的底部设置有夹爪结构，所述移动座包括套设在磨片清洗机驱动架上的滑动座，且滑动座的底部贯穿滑动连接有位移调节座，所述夹爪结构安装于位移调节...
该专利属于杭州中欣晶圆半导体股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州中欣晶圆半导体股份有限公司授权不得商用。

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