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本申请公开了一种放电反应制备乙硅烷的方法，所述方法包括以下步骤：S1：将甲硅烷和配气混合形成混合气体，S2：将混合气体通入反应器中进行放电反应，得到粗品气，S3：将粗品气冷凝后形成粗品液，S4：将粗品液汽化后进行提纯。本申请还公开了一种放电...
该专利属于中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司授权不得商用。

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