下载一种应用于单晶炉热场清洁的激光清理装置及方法的技术资料

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本发明提供了一种应用于单晶炉热场清洁的激光清理装置及方法,所述装置包括内置有激光发射器的机柜,激光发射器通过光纤线连接有激光清洗头,本发明装置采用激光清洗头清洁单晶炉热场,具有无接触和适用于各种材质的特点,其清洗洁净度高,安全可靠,不会损害...
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