下载一种半导体结构的形成方法以及半导体结构的技术资料

文档序号:40081044

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本公开实施例公开了一种半导体结构的形成方法和半导体结构,方法包括:提供衬底;在衬底上,形成沿竖直方向交替堆叠的半导体层和牺牲层;其中,半导体层和牺牲层均沿第一方向延伸,第一方向垂直于竖直方向;在半导体层和牺牲层内,形成支撑结构和接触结构;其...
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